光催化氧化適合在常溫下將廢臭氣體完整氧化成無害的物資，適合處置高濃度、氣量大、穩定性強的有毒無害氣體的廢氣處置。
在半導體光催化氧化反響中，通過紫外光照射在納米TiO2催化劑上，納米TiO2催化劑吸收光能發生電子躍進和空穴躍進，顛末進一步的結合發生電子-空穴對，與廢氣表面吸附的水分(H2O)和氧氣(O2)反響生成氧化性很活波的羥基自由基和超氧離子自由基能夠把各種有機廢氣如烴類、醛類、酚類、醇類、硫醇類、苯類、氨類、氮氧化物、硫化物和別的VOC類有機物及無機物在光催化氧化的感化下還原成二氧化碳(CO2)、水(H2O)和別的沒有毒有害物資，經過污染之后的廢氣份子被活化降解，臭味也同時消失了，起到了廢氣處理作用，同時對管道內滋生的細菌病毒都可以有效的去除，由于在光催化氧化反響過程中無任何添加劑，所以不會發生二次污染，運行本錢方面只是用到電能，無需常常調換配件，對付企業來的使用上是相稱的節能環保。
當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。(在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。)
光離復合有機廢氣處理設備利用高能臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，因游離氧所攜正負電子不平衡，所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。臭氧對紫外線光束照射分解后的有機物具有*的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有良好的消除效果。利用高能有效的UV光束裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸( DNA) ，再通過臭氧進行氧化反應，*達到有機廢氣處理中的脫臭及滅菌的目的。
UV光解凈化器設備運用高能UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳。工藝流程廢氣→微波+光解+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3→CO2+H2O(達標排放)。設備配套齊全，凈化效率高，自動化程度高，可每天24小時連續工作，運行穩定可靠，防腐蝕，使用壽命長的優勢。
氧化性強，半導體光催化具備氧化性強的特色，對臭氧難以氧化的某些有機物如四氯化炭、六氯苯、都能有用地加以分解，所以對難以降解的有機物具備特別意義，光催化的有用氧化劑是羥基自由基(OH-)和超氧離子自由基(O2-、0-)，其氧化性高于罕見的臭氧、雙氧水、高錳酸鉀、次氯酸等。
